Mahsulotga umumiy nuqtai
SCD 12 yarimo'tkazgichli litografiya jarayoni uchun 12-dyuymli avtomatik aylanish-qoplamali va ishlab chiqaruvchi trek uskunasidir. 300 mm gofret ishlab chiqarish uchun moʻljallangan, u modulli{7}}arxitektura dizaynini oʻzlashtirib, kameraning moslashuvchan konfiguratsiyasini qoʻllab-quvvatlaydi. U integral mikrosxemalar, ilg'or qadoqlash, quvvat qurilmalari va boshqa sohalar uchun ommaviy ishlab chiqarish va ilmiy-tadqiqot stsenariylarini qamrab oluvchi litografiya ta'sir qilish vositalari bilan ichki aloqani amalga oshirishi mumkin.
U oʻta yupqa va egilgan gofretlarni -qayta ishlashga qodir, qismlarni almashtirmasdan ikki-gofret-oʻlchamini almashtirishni qoʻllab-quvvatlaydi va asosiy yarimoʻtkazgichli litografiya jarayonlariga toʻliq mos keladi.
Afzalliklar
Yuqori-sig'im va ixcham maydon modulli jarayon-birlik dizayni, yuqori o'tkazuvchanlik, qimmatbaho toza-xona maydonini tejaydi. Jarayon kameralari mijozlar talablariga muvofiq moslashuvchan tarzda sozlanishi mumkin.
Kuchli deformatsiyalangan{0}}gofretni qayta ishlash qobiliyati Egriligi 5 mm dan past boʻlgan oʻta yupqa va burmalangan gofretlarni barqaror uzatish va qayta ishlashni qoʻllab-quvvatlaydi, bu esa maxsus-substrat ishlab chiqarishdagi qiyinchiliklarni hal qiladi.
Uskunani almashtirmasdan ikki-oʻlchamli moslik Mexanik{1}}qismlarni almashtirmasdan turli oʻlchamdagi gofretlar oʻrtasida almashinish, oʻzgartirish vaqtini qisqartirish va foydalanish xarajatlarini kamaytirish.
Inline{0}}litografiya vositalariga tayyor Qo‘shimcha interfeys moduli to‘liq avtomatik trek-ish jarayonini amalga oshiradigan asosiy litografiya ekspozitsiya mashinalari bilan-inline dockingni qo‘llab-quvvatlaydi.
Boy funksional-modul opsiyalari Diversifikatsiyalangan jarayon talablariga mos-aniqlikdagi issiq plastina, optik hizalama, WEE gofret chetiga ekspozitsiya va boshqa ixtiyoriy komponentlarni-qo‘llab-quvvatlaydi.
Parametrlar
|
Element |
Spetsifikatsiya |
|
Model |
SCD 12 12-dyuymli Spin Coater & Developer |
|
Gofret hajmi |
12-dyuym (300 mm), qismlarni almashtirmasdan ikki o'lchamga mos keladi |
|
Substrat materiali |
Ha, Shisha |
|
Kamera konfiguratsiyasi |
2C2D / 4C / 4D / 4C4D (sozlanishi mumkin) |
|
Qo'llab-quvvatlanadigan litografiya jarayoni |
i-liniya, KrF, ArF, PI, SOG, SOC |
|
Qo'llaniladigan litografiya chiziq kengligi |
90 nm dan katta yoki unga teng |
|
Maksimal o'tkazuvchanlik |
110 WPH (retsept va konfiguratsiyaga bog'liq) |
|
Buzilgan gofret mosligi |
5 mm dan kam yoki unga teng ultra yupqa / burmalangan gofretni uzatish va qayta ishlashni qo'llab-quvvatlash |
|
Hajmi (W × D × H) |
4970 × 1973 × 2460 mm |
|
Inline funktsiyasi |
Litografiya mashinasi bilan ulanish uchun ixtiyoriy interfeys moduli |
|
Ixtiyoriy birliklar |
Yuqori-aniqlikdagi issiq taxta, optik tekislash, WEE gofret chetiga ekspozitsiya moduli |
|
Boshqarish rejimi |
Mahalliy boshqaruv / masofaviy zavod avtomatizatsiyasini boshqarish |
|
Sertifikatlash |
SEMI S2 bilan mos keladi |
Tez-tez so'raladigan savollar
TSS
Savol: SCD 12 qanday substratlar va gofret o'lchamlarini qo'llab-quvvatlaydi?
Javob: Asosan Si va Glass substratlarini qo'llab-quvvatlaydigan 12 dyuymli (300 mm) gofretlar uchun. U ehtiyot qismlarni almashtirmasdan ikki o'lchamli almashtirishni qo'llab-quvvatlaydi va 5 mm dan kam yoki teng bo'lgan egri / o'ta yupqa gofretlarni qayta ishlay oladi.
Savol: Ushbu mashina qanday litografiya jarayonlarini bajarishi mumkin?
Javob: i line, KrF, ArF, PI, SOG, SOC jarayonlarini qo'llab-quvvatlaydi, litografiya chizig'ining kengligi 90 nm dan katta yoki unga teng.
Savol: SCD 12 litografiya skaneri/stepiga ulanishi mumkinmi?
Javob: Ha. Asosiy litografiya ekspozitsiyasi mashinalari bilan Inline inline oʻrnatishga erishish uchun ixtiyoriy Interfeys modulini tanlang.
Savol: Tanlash uchun qanday kamera konfiguratsiyasi mavjud?
Javob: Mavjud konfiguratsiyalar: 2C2D / 4C / 4D / 4C4D. Mijozlar ixtiyoriy birliklarni, jumladan, yuqori aniqlikdagi issiq taxta, optik hizalama, WEE, jarayon talablariga asoslangan interfeysning ichki modulini qo'shishlari mumkin.
Savol: Haqiqiy o'tkazish qobiliyati qanday?
Javob: Maksimal o'tkazish qobiliyati 110 WPH. Haqiqiy dunyo o'tkazuvchanligi kameraning haqiqiy konfiguratsiyasi va ishlab chiqarish retsepti bilan farq qiladi.
Savol: SCD 12 ham ommaviy ishlab chiqarish, ham laboratoriya ilmiy-tadqiqot ishlariga mos keladimi?
Javob: Ha. Moslashuvchan modulli konfiguratsiya yuqori hajmli ommaviy ishlab chiqarish fab talablariga javob berishi mumkin, shuningdek, tadqiqot institutlarida kichik partiyalar Ar-ge ishlariga moslashadi.
Issiq teglar: 12 dyuymli spin-coater va ishlab chiqaruvchi, Xitoy 12 dyuymli spin-coater va ishlab chiqaruvchi ishlab chiqaruvchilar, etkazib beruvchilar
