Mahsulotga umumiy nuqtai
Kompaniyamizning vertikal va gorizontal quvurli termal pechlari yuqori-aniqlikdagi harorat nazorati-ga asoslangan bo‘lib, ular ommaviy ishlab chiqarish yoki laboratoriya ilmiy-tadqiqot ishlari uchun bo‘ladimi,-oksidlanish, diffuziya va tavlanish kabi barcha asosiy yarimo‘tkazgichli issiqlik bilan ishlov berish jarayonlarini bajaradi. Ularning orasidagi haqiqiy farqlar tuzilishga va qanday qilib aniq foydalanishga mos kelishiga bog'liq:
Vertikal quvurli termal pech
Vertikal quvurli pech joyni tejaydi, 8 dyuymli gofretlardan kamroq yoki unga teng (12 dyuymli sanoat varianti mavjud). Asosiy xususiyatlar: 850 mm maksimal doimiy harorat zonasi, ± 0,5 daraja nazorat qilish aniqligi.
Sanoat modeli: to'xtovsiz partiyalarni qayta ishlash orqali IC/IGBT ommaviy ishlab chiqarishni kuchaytiradi. Tadqiqot modeli: SiC/kvant chip oʻrta-kichik partiyalarni tekshirish uchun-past harorat talablarini qondiradi.
Gorizontal quvurli termal pech
Gorizontal quvurli pechning dizayni, moslashuvchan 1-4 quvurli konfiguratsiya; 300-1000 mm sozlanishi doimiy harorat zonasi, 400 daraja -1200 daraja oralig'i.
Sanoat modeli: gofret doping/struktura shakllantirish uchun koʻp{0}}jarayon integratsiyasi. Tadqiqot modeli: oʻqitish va rivojlantirishni oʻzaro uygʻunlashtirib, universitetning kichik{2}}toʻplamli tajribalari uchun ideal.
Ikkalasi ham toza kameralardan va barqaror haroratni nazorat qilishdan foydalanadi, bu yarimo'tkazgichli issiqlik ehtiyojlarini ilmiy-tadqiqot ishlaridan tortib to ommaviy ishlab chiqarishgacha qoplaydi.
Ilovalar
- Universitetlar/tadqiqot muassasalari uchun: Kichik{1}}to‘plamdagi SiC ilmiy-tadqiqot ishlari, kvant chiplari va boshqalarni qo‘llab-quvvatlaydi, yangi materiallar jarayonini tekshirish va unumdorligini tekshirishga yordam beradi.
- Mikro-nano ishlov berish: Diffuziya, oksidlanish, tavlanish jarayonlarini boshqaradi, LPCVD-optoelektronik/fotonik qurilmalarni tadqiq qilish uchun moslashuvchan platforma bo‘lib xizmat qiladi.
- Optik qurilma ilmiy-tadqiqot ishlari: integratsiyalashgan optik to‘lqin o‘tkazgich/yuqori-tezlikdagi fotonik qurilmani ishlab chiqishga mos keladi; proton almashinuvida LiNbO₃ issiqlik bilan ishlov berish ehtiyojlariga mos keladi.
- Universitetda oʻqitish: Eksperimental oʻqitish/jarayonni rivojlantirish, yarimoʻtkazgichli issiqlik uskunalarini oʻzlashtirish va nazariyani muhandislik bilan bogʻlashda yordam beradi.
Afzalliklar
Yuqori-aniqlikdagi harorat nazorati:
± 0,5 daraja aniqlik; 1100 daraja bo'lsa ham, bitta nuqta barqarorligi 24 soat davomida ±0,5 daraja bo'lib, ma'lumotlarning ishonchli takrorlanishini ta'minlaydi.
Ko'p-jarayonlarga muvofiqligi:
Vertikal pechlar diffuziya / oksidlanishni qo'llab-quvvatlaydi; gorizontallar tavlanish va LPCVD qo'shadi. Ikkalasi ham SiC / kvant chip R&D ga mos keladi.
Tadqiqot{0}}do'stona moslashuvchanlik:
8-dyuymdan kichik yoki unga teng gofretlar bilan ishlaydi (ixtiyoriy 1-4 naycha). Bir quvurli kichik partiyali dizayn xarajatlarni kamaytiradi; tajribalar uchun uzoq davomli yugurishni qo'llab-quvvatlaydi.
Parametrlar
|
Element |
Vertikal quvurli pech |
Gorizontal quvurli pech |
|
Harorat diapazoni |
200 daraja -600 daraja, 600 daraja -1200 daraja (ikki diapazon ixtiyoriy) |
200 daraja -600 daraja, 600 daraja -1200 daraja (ikki diapazon ixtiyoriy) |
|
Haroratni nazorat qilishning aniqligi |
± 0,5 darajadan kam yoki unga teng |
± 0,5 darajadan kam yoki unga teng |
|
Haroratning bir xilligi |
- |
±1 darajadan kam yoki unga teng |
|
Bir nuqtali harorat barqarorligi- |
Ketma-ket 24 soat davomida ±0,5 darajadan @1100 darajaga teng yoki kamroq |
Ketma-ket 24 soat davomida ±0,5 darajadan @1100 darajaga teng yoki kamroq |
|
Maksimal isitish tezligi |
10 daraja / min |
10 daraja / min |
|
Doimiy harorat zonasining uzunligi |
200-500 mm |
200-500 mm |
TSS
Quvurli termal pechka qanday gofret o'lchamlari bilan ishlaydi?
Ikkala vertikal va gorizontal modellar 8 dyuymgacha bo'lgan gofretlarni qo'llab-quvvatlaydi.
Ular qanday asosiy jarayonlarni amalga oshirishi mumkin?
Vertikal quvurli pech: diffuziya, oksidlanish va tavlanishni qoplaydi.
Gorizontal quvurli pech: ushbu asoslar ustiga LPCVD integratsiyasini qo'shadi.
Jarayon quvurlari sonini sozlash mumkinmi?
Mutlaqo{0}}ehtiyojlaringizga qarab har bir birlik uchun 1 dan 4 tagacha naychani tanlashingiz mumkin.
Haroratni nazorat qilish qanchalik aniq?
Haroratni nazorat qilish aniqligi ± 0,5 daraja ichida qoladi. Hatto 1100 daraja bo'lsa ham, bitta nuqta 24 soat davomida ± 0,5 daraja barqarorlikni saqlaydi. Gorizontal pechlar uchun haroratning bir xilligi ham ±1 daraja ichida.
Isitish tezligi va harorat oralig'i haqida nima deyish mumkin?
Maksimal isitish tezligi daqiqada 10 darajani tashkil qiladi, ikkita harorat oralig'i mavjud: 200-600 daraja va 600-1200 daraja.
Doimiy harorat zonasining uzunligi sozlanishi mumkinmi?
U sukut bo'yicha 200-500 mm gacha o'zgarib turadi va sozlash qo'llab-quvvatlanadi.
Universitet tadqiqot laboratoriyalari uchun qaysi biri yaxshiroq?
Agar sizga asosiy jarayonlar kerak boʻlsa, -yerni tejaydi va tejamkor-vertikalga oʻting. Agar sizga LPCVD, o'quv yordami kerak bo'lsa yoki laboratoriya ishi va ommaviy ishlab chiqarishni birlashtirish uchun gorizontalni tanlang.
U uzoq tajribalar o'tkazishi mumkinmi? Ta'mirlash qimmatga tushadimi?
U uzluksiz uzoq-muddatda ishlashni qo‘llab-quvvatlaydi. Ta'mirlash kam uchraydi, shuning uchun xarajatlarni boshqarish mumkin bo'ladi.
U uchuvchi yoki kichik{0}}partiya ishlab chiqarish uchun mosmi?
Ha,-ikkala model ham ilmiy-tadqiqot va kichik{1}}partiya ishlab chiqarish oʻrtasida muammosiz oʻtadi.
Issiq teglar: quvurli termal pech, Xitoy quvurli termal pech ishlab chiqaruvchilari, etkazib beruvchilari
