Mahsulotga umumiy nuqtai

Kompaniyamizning PVD texnologiyasiga asoslangan uchta Magnetron purkash uskunasining barchasi yuqori sifatli metall, dielektrik va yarimo‘tkazgich plyonkalarini-to‘playdi, lekin qo‘llash yo‘nalishida farqlanadi.

Sanoatning bir kamerali-modelini olaylik: u yirik-miqyosdagi ishlab chiqarish uchun moʻljallangan boʻlib, xarajatlarni nazoratda ushlab turadigan maqsadli foydalanishga ega. U 8 dyuymli gofretlarni uzluksiz boshqaradi va sanoat ishlab chiqarishining izchil talablarini ta'minlaydi.

So'ngra, butun qoplama jarayonini avtomatlashtirish uchun modulli, mustaqil kameralardan (o'ylab ko'ring, isitish, püskürtme va boshqalar) foydalanadigan ko'p kamerali sanoat versiyasi mavjud.

Bu-koʻp qatlamli{1}}komplek ishlab chiqarishda qoʻl aralashuvini qisqartirish uchun oʻyinni oʻzgartiruvchi vositadir. Boshqa tomondan, tadqiqot-baho mashinasi universitetlar va ilmiy muassasalar uchun maxsus ishlab chiqilgan. U kremniy karbid materiallari yoki kvant chiplari prototiplari uchun-kichik{9}}partiya ilmiy-tadqiqot ishlarini bajarish uchun{6}}ko'p{7}}maqsadli püskürtme- kabi moslashuvchan sozlashlarni taklif etadi. Uchalasida ham biz yarimo'tkazgich sanoatining turli ehtiyojlarini qondirishiga ishonch hosil qilib, "hunarmandchilik sifati" majburiyatimizga sodiq qolamiz.

Siz uchun eng yaxshi yechimni olish uchun biz bilan bog'laning.

Ilovalar

Kompaniyamizning uchta Magnetron püskürtme uskunasining har biri yarimo'tkazgich sanoatidagi barcha ehtiyojlarni-qoplaydigan o'z joyiga ega.

Sanoatning bir kamerali{0}}modelini olaylik: bu integral mikrosxemalar kabi yirik-ishlab chiqarish bilan bog‘liq. 8-dyuymli yupqa plyonkali gofret tayyorlash uchun u tez va barqaror, CMOS/IGBT ishlab chiqarish liniyalariga to‘g‘ridan-to‘g‘ri kirib boradi va sig‘im va hosildorlik ko‘rsatkichlariga muammosiz erishadi.

Birinchi sanoat ko'p kamerali to'liq avtomatlashtirish va mustahkam integratsiya bilan ajralib turadi. 5G va optoelektronik qurilmalar uchun murakkab ko'p qatlamli filmlarmi? U ularni osonlik bilan boshqaradi, ommaviy ishlab chiqarishning qattiq aniqlik talablariga javob beradi.

Keyin tadqiqot{0}}baho modeli-universitet ilmiy-tadqiqot ishlari uchun moʻljallangan. U kremniy karbid kabi yangi materiallarda-kichik partiyali sinovlarni qo'llab-quvvatlaydi va o'ta moslashuvchan tekshirish platformasi vazifasini bajaradi.

Afzalliklar

Bizning uchta Magnetron püskürtme uskunamiz har bir dasturning turli stsenariylari uchun mo'ljallangan jadvalga maqsadli kuchlarni olib keladi:

1. Yagona sanoat-kamerali model:

U yuqori maqsadli foydalanish-to'g'ridan-to'g'ri operatsion xarajatlarni kamaytiradigan katta ball oladi. 8-dyuymli gofretlarni qayta ishlashda u qattiq ishlashni ta'minlaydi; plyonkaning bir xilligi ±3% ichida qoladi va sanoat hosildorligi talablariga osongina javob beradi. Bundan tashqari, uning sodda tuzilishi parvarishlashni osonlashtiradi.

2. Sanoat koʻp kamerali-model:

Modulli avtomatlashtirilgan kameralar ishlab chiqarish samaradorligini sezilarli darajada oshiradigan teshikka ega. Shuningdek, u 5G va optoelektronik qurilmalarda qoʻllaniladigan koʻp qatlamli plyonkalarni yaratish uchun-yuqori darajali plyonkalar-tozaligini taʼminlaydigan ilgʻor zarrachalar nazoratiga ega. Bundan tashqari, uning kuchli integratsiya qobiliyati unga turli xil materiallarga muammosiz moslashish imkonini beradi.

3. Tadqiqot-baho namunasi:

Ilmiy-tadqiqot va ishlanmalarni hisobga olgan holda ishlab chiqilgan boʻlib, u yangi materiallarni ishlab chiqish ehtiyojlariga mos keladigan koʻp-maqsadli püskürtme kabi moslashuvchan sozlashlarni taklif etadi. Mikrometr{2}}darajadagi aniqlik jarayonni tekshirishda ishonchli yordam beradi va uning kichik{3}}partiyali ishlov berish dizayni ilmiy-tadqiqot ishlarini sinovdan o‘tkazish xarajatlarini kamaytirishga yordam beradi-laboratoriya tadqiqotlari uchun ideal.

Parametrlar

Element	Yagona sanoat-kamerali model	Sanoat koʻp kamerali-model	Tadqiqot-baho namunasi
Qo'llaniladigan gofret o'lchami	8 dyuym va undan past	6 dyuym / 8 dyuym	8 dyuym va undan past
Yakuniy vakuum	8x10-5 Pa	2x10-5 Pa	-
Filmning bir xilligi	±3% dan kam yoki unga teng	±3% dan kam yoki unga teng	±3% (4 dyuymli maqsadli, 8 dyuymli gofret)
Substrat bosqichi Haroratni boshqarish	RT-650 daraja (yoki sovutish)	-	RT-600 daraja (isitish yoki sovutish)
Substrat bosqichining aylanish tezligi	-	-	5-20 aylanish tezligi
Tozalash usuli	Yagona{0}}maqsadli chayqalish	-	Yagona-maqsadli/ koʻp{1}}maqsadli ketma-ket/ko-parchalash
Quvvatlantirish manbai	Ixtiyoriy DC/RF/MF	-	Ixtiyoriy DC/RF/MF
Kalit konfiguratsiyalar	Yagona texnologik kamera; 4 ta nishonli quroldan kam yoki unga teng	5 dan kam yoki unga teng texnologik kameralar (isitish, sovutish, püskürtme va hk.)	Ko'p-maqsadli püskürtme: oldingi-vakuum kamerasi (ixtiyoriy); namuna tozalash moduli
Amaldagi materiallar	Silikon, aralashmalar, keramika va boshqalar.	Silikon, aralashmalar va boshqalar.	Metallar (Al, Au, Cu), dielektriklar (SiO2, TaN), yarim o'tkazgichlar

TSS

Uchta modeldan qanday tanlash mumkin?

8{3}}dyuymli gofretlarni (masalan, CMOS/IGBT) ommaviy ishlab chiqarish uchun bitta boʻshliqli sanoat modelini tanlang; 5G/optoelektronikada murakkab ko'p qatlamli plyonkalar uchun sanoat ko'p bo'shliqli modelni tanlang; universitetlarda yangi materiallarni (masalan, kremniy karbid) tadqiq qilish va ishlab chiqish uchun tadqiqot modelini tanlang.

U-kremniyga-asos bo'lmagan material qoplamasini qo'llab-quvvatlaydimi?

Ha, u keramika, aralash yarimo'tkazgichlar, metallar (Al/Au), dielektriklar (SiO₂) va boshqalarni qoplaydigan hamma narsani qo'llab-quvvatlaydi.

Gofret hajmini kengaytirish mumkinmi?

Standart 8 dyuym va undan past (koʻp boʻshliqli model uchun 6-8 dyuym). Kichik miqyosdagi kengayish oldindan moslashtirilishi mumkin, ammo jarayonning maqsadga muvofiqligini baholash kerak.

Plyonka qalinligi bir xilligi ± 3% dan kam yoki unga teng bo'lgan sinov shartlari qanday?

8 dyuymli gofretlarga (tadqiqot modeli uchun 4 dyuymli maqsadli + 8- dyuymli gofret) asoslangan standart metall/dielektrik plyonka qatlami sinovi. Turli materiallar/plyonka qalinligi uchun optimallashtirish mumkin.

O'rnatish bo'yicha ta'lim beriladimi?

Biz -saytda oʻrnatish va ishga tushirish, shuningdek, jamoa tezda ishga kirishishi uchun foydalanish/taʼmirlash boʻyicha treninglar beramiz.

Uskunani keyinroq yangilash mumkinmi?

Ko'p-bo'shliq va tadqiqot modellari maqsadli qurollar/vakuumdan oldingi-kameralar bilan yangilanishi mumkin; Yagona-bo'shliqli modellar cheklangan yangilanish potentsialiga ega, shuning uchun uzoq{3}}muddatli ehtiyojlarni boshidanoq aniq belgilashni tavsiya qilamiz.

Yetkazib berish davri qancha davom etadi? Buni tezlashtirish mumkinmi?

Yagona-boʻshliq/tadqiqot modellari: 8-12 hafta; ko'p bo'shliqli modellar: 12-16 hafta; tez yetkazib berish kelishib olinadi va ishlab chiqarish liniyasini rejalashtirishga bog'liq.

Ishlab chiqarishdan keyingi texnik xizmat-xarajatlarda chegirmalar bormi?

Asosan maqsadli materiallar va sarf materiallari uchun. Sarf materiallari kafolat muddati tugaganidan keyin 5 yil davomida 10% dan ortiq yoki unga teng chegirma bilan taklif etiladi. Shuningdek, biz xarajatlarni kamaytirish uchun texnik xizmat ko'rsatish bo'yicha ko'rsatmalar beramiz.

Issiq teglar: magnetron purkagich uskunalari, Xitoyning magnetronli püskürtme uskunalari ishlab chiqaruvchilari, etkazib beruvchilari