Mahsulotga umumiy nuqtai
Orqa tarafdagi gofretni tozalash vositasi 6–12 dyuymli gofret formatlarini qo'llab-quvvatlaydigan yarimo'tkazgichli gofretning orqa qismini tozalash uchun mo'ljallangan maxsus nam ishlov berish qurilmasi. Ilg'or qadoqlash ish oqimlari uchun mo'ljallangan, u 4 kamerali konfiguratsiya, 2 SMIF POD/FOUP tashuvchi mosligi va asosiy jarayonni boshqarish (isitish, oqim tezligi, bosim) bilan jihozlangan. Soatiga 55–60 gofret oʻtkazuvchanligi bilan u aqlli fab integratsiyasi uchun xavfsizlik funksiyalarini (haddan tashqari qizib ketishdan himoya qilish, oqishni aniqlash) va SECS/GEM aloqasini birlashtiradi.
Afzalliklar
Keng gofret mosligi:
Turli ilg'or qadoqlash ehtiyojlariga moslashuvchi 6-12 dyuymli gofretlarni qo'llab-quvvatlaydi.
01
Jarayonning barqaror ishlashi:
Yupqa gofretlar uchun mustahkamlikni ta'minlab, ±10 mm oralig'ida gofretning emirilishini nazorat qiladi.
02
Samarali o'tkazuvchanlik:
55–60 gofret/soat yetkazib beradi, muvozanat tezligi va tozalash sifati.
03
Moslashuvchan va xavfsiz:
Ixtiyoriy DICO2 kimyosi/orqa tomondan himoya; tasniflangan drenaj va xavfsizlik monitoringini o'z ichiga oladi.
04
Zavod integratsiyasi:
MES tizimlariga uzluksiz ulanish uchun to'liq SECS/GEM-ni qo'llab-quvvatlash.
05
Ilovalar
Maqsadli maydon:Ilg'or yarimo'tkazgichli qadoqlash.
Asosiy jarayon:Yupqalashdan keyin gofretlar uchun orqa tomonni tozalash (qadoqlash ishonchliligini ta'minlash uchun yupqalash jarayonlaridagi qoldiqlarni olib tashlaydi).
Parametrlar
|
Spetsifikatsiya |
Tafsilotlar |
|
Gofret hajmi |
6-12 dyuym |
|
Gofretning burilishiga tolerantlik |
±10 mm dan kam yoki unga teng |
|
O'tkazish qobiliyati (WPH) |
55-60 gofret / soat |
|
Palatalar |
4 kamerali |
|
Operator mosligi |
2 SMIF POD/FOUP |
|
Qo'llab-quvvatlanadigan kimyo |
DICO2 (orqa tomondan himoya ixtiyoriy) |
|
Jarayonni boshqarish xususiyatlari |
Isitish nazorati, oqim tezligini nazorat qilish, bosim nazorati |
|
Xavfsizlik xususiyatlari |
Hammomning qizib ketishidan himoya qilish, qochqinlarni aniqlash, tasniflangan |
|
Aloqa protokoli |
SECS/GEM |
|
Maqsadli dastur maydoni |
Kengaytirilgan qadoqlash |
TSS
Ushbu orqa tozalagich qanday gofret o'lchamlarini qo'llab-quvvatlaydi?
U kengaytirilgan qadoqdagi umumiy formatlarni qamrab oluvchi 6–12 dyuymli gofretlarga mos keladi.
U bardosh bera oladigan maksimal gofret burmasi qancha?
Qadoqlash jarayonida yupqalangan gofretlarga mos keladigan ±10 mm dan kam yoki teng bo'lgan burmali gofretlarni qo'llab-quvvatlaydi.
Ushbu qurilmaning o'tkazuvchanligi qanchalik tez?
U soatiga 55-60 gofretni qayta ishlay oladi, bu samaradorlik va tozalash sifatini muvozanatlashtiradi.
U qaysi operatorlar bilan ishlaydi?
U standart fab logistika tizimlariga mos keladigan 2 ta SMIF POD/FOUP tashuvchisini qo'llab-quvvatlaydi.
U qanday kimyodan foydalanadi va orqa tomondan himoya mavjudmi?
U DICO2 dan foydalanadi (ixtiyoriy orqa tomondan himoya konfiguratsiyasi taqdim etiladi).
U fabrikamizning MES tizimiga ulanishi mumkinmi?
Ha-toʻliq SECS/GEM aloqa protokoli yordami MES bilan uzluksiz integratsiyani taʼminlaydi.
U qanday xavfsizlik xususiyatlariga ega?
Bu hammomni haddan tashqari qizib ketishdan himoya qilishni, oqishni aniqlashni va tasniflangan chiqindilarni drenajlashni o'z ichiga oladi.
Issiq teglar: orqa tarafdagi gofret tozalagich, Xitoyning orqa tarafdagi gofret tozalagich ishlab chiqaruvchilari, yetkazib beruvchilari
