Mahsulotga umumiy nuqtai
Nice-Tech kompaniyasi ICP texnologiyasiga asoslangan va ICni ommaviy ishlab chiqarish uchun moʻljallangan, turli oʻlchamdagi gofret uchun ikkita maxsus kremniyli qirqish tizimini taklif etadi.
12 dyuymli tizim (SES-12)
12-dyuymli IC old-end (FEOL) jarayonlariga e'tibor qaratiladi. ICP etch kameralari va uzatish modulidan tashkil topgan bo'lib, u mantiqiy va xotira qurilmalarini yuqori aniqlikdagi naqshlash uchun mo'ljallangan kremniyni o'chirish, dielektrik o'rnatish, eshikni tozalash, W chuqurchaga va SADPni o'z ichiga oladi.
8 dyuymli tizim (SES-8)
Darvoza jarayonlariga asoslangan 8{4}}dyuymli fablar uchun ko'p kamerali tizim. U 5% dan kam yoki unga teng boʻlgan-gofret va gofret-to-waferga ishlov berish bir xilligini, zarrachalarni mukammal nazorat qilishni taʼminlaydi va AA, STI, spacer va W chuqurchalarini qoʻllab-quvvatlaydi.
Afzalliklar
Jarayonning keng qamrovi
Bu erda ikkita asosiy sozlash mavjud. 12 dyuymli tizim FEOL jarayonlarining barcha turlarini oladi, muammo yo'q. 8 dyuymga kelsak? U darvoza va tegishli jarayonlarga qaratilgan va 0,11 mkm va undan yuqori tugunlarga juda mos keladi.
Yuqori aniqlik va barqarorlik
Aniqlik - bu tizimlar porlashi. 12{2}}dyuymli model yuqori-darajadagi bir xillik va etch selektivligini ta'minlaydi - aynan ilg'or jarayonlar talab qiladigan darajada. 8 dyuymli versiya ham o'ziga xos xususiyatga ega: past bir xillikdagi og'ish, shuningdek, zarrachalarni qattiq nazorat qilish, shuning uchun siz izchil natijalarga ishonishingiz mumkin.
Ommaviy-ishlab chiqarish va xarajat-samaradorlik
Eng yaxshisi, ikkalasi ham ommaviy ishlab chiqarishga tayyor. 12{2}}dyuym katta-miqyosdagi ishlab chiqarish liniyalari uchun moʻljallangan, bu esa katta hajmdagi-ishlab chiqarish uchun mos keladi. 8 dyuym, agar siz quvvatni oshirayotgan bo'lsangiz, aqlli tanlov bo'ladi - bu joy va xarajatlarni tejaydi, bu esa har doim operatsiyalar uchun ortiqcha.
Ilova
IC FEOL ishlab chiqarish
12 dyuymli mantiq/xotira FEOL jarayonlari uchun 12 dyuymli tizim; 8 dyuymli eshikni qirqish uchun 8 dyuymli tizim.
Murakkab jarayonlar
12 dyuymli tizim SADP/W chuqurchagini qo'llab-quvvatlaydi; 8 dyuymli tizim STI/spacer jarayonlari uchun ishlaydi.
Imkoniyatlarni oshirish
12{2}}dyuym katta fabrikalarga birlashtiriladi; 8-dyuym o'rta kichik fabrikalar uchun tejamkor yordam beradi.
Parametrlar
|
Turkum |
12 dyuymli kremniyni qirqish tizimi |
8 dyuymli kremniyni qirqish tizimi |
|
Gofret mosligi |
12-dyuymli (300mm) IC gofretlar, ommaviy ishlab chiqarish liniyalari uchun moslashtirilgan |
8 dyuymli IC gofretlari; 0,11 mkm va ilg'or texnologiya tugunlari bilan mos keladi |
|
Kamera konfiguratsiyasi |
ICP etch kameralari + uzatish moduli |
ICP etch kameralari + uzatish moduli; ommaviy ishlab chiqarish uchun-koʻp kamerali dizayn |
|
Asosiy jarayon imkoniyatlari |
Silikon qirqish, dielektrik bilan ishlov berish, eshikni tozalash, V chuqurchaga, SADP |
Darvoza qirqish, AA, STI, spacer o'chirish, V chuqurchaga |
|
Etchning bir xilligi |
Yuqori bir xillikni nazorat qilish (ilg'or tugun aniqligi standartlariga javob beradi) |
Gofret ichida-5% dan kam yoki unga teng; 5% dan kam yoki unga teng boʻlgan gofret-to-vafli |
|
Zarrachalar nazorati |
Yuqori mahsulot rentabelligi uchun qattiq zarracha nazorati |
Barqaror ommaviy ishlab chiqarish uchun zarrachalarni mukammal nazorat qilish |
|
Sanoat muvofiqligi |
12-dyuymli IC hajmli ishlab chiqarish uchun mos; yarimo'tkazgichlarni ommaviy ishlab chiqarish standartlariga mos keladi |
Mustaqil optimallashtirilgan dizayn; 8 dyuymli fab maydoni va quvvatni oshirish uchun xarajat talablariga mos keladi |
TSS
Savol: Ikki tizim qanday gofret o'lchamlarini qo'llab-quvvatlaydi?
Javob: 12 dyuymli tizim 12 dyuymli (300 mm) IC gofretlarini va 8 dyuymli tizim 8 dyuymli IC gofretlarini qo'llab-quvvatlaydi.
Savol: Ular qanday asosiy jarayonlarni qamrab oladi?
Javob: 12-dyuymli tizim kremniyli etch, dielektrik etch, SADP, W chuqurchaga va boshqalarni qamrab oladi; 8 dyuymli tizim gate etchga e'tibor qaratadi va STI, spacer etch va boshqalarni qo'llab-quvvatlaydi.
Savol: Ular qaysi texnologiya tugunlari bilan mos keladi?
Javob: 12 dyuymli tizim ilg'or texnologiya tugunlariga moslashadi; 8 dyuymli tizim 0,11 mkm va undan yuqori rivojlangan tugunlar bilan mos keladi.
Savol: Ikkala tizim ham ommaviy ishlab chiqarishga mos keladimi?
Javob: Ha. 12{2}}dyuymli tizim yirik-miqyosdagi ishlab chiqarish liniyalariga mos keladi, 8{5}}dyuymli tizim esa joyni tejaydi va ommaviy ishlab chiqarish uchun tejamkor.
Savol: 8 dyuymli tizimning etch bir xilligi qanday?
Javob: U gofret bir xilligida-5% dan kam yoki unga teng va gofret bir xilligi-5% dan kam yoki unga teng.
Issiq teglar: silikon qirqish tizimi, Xitoyning silikon qirqish tizimi ishlab chiqaruvchilari, etkazib beruvchilari
