Mahsulotga umumiy nuqtai
HII 100 ixtisoslashtirilgan H/He ion implantatoridir. U{2}}vodorod va geliy ionlarini implantatsiya qilish jarayonlari uchun, ayniqsa, elektrostatik-sezgir izolyatsion materialni implantatsiya qilish va qatlam-parchalash texnologiyasi uchun moʻljallangan. To'plamli implantatsiya arxitekturasini qabul qilgan uskuna yuqori{6}}energiya va yuqori-dozali implantatsiyani qo'llab-quvvatlaydi. U gofretlarda zaryad toʻplanishi va elektrostatik shikastlanishni samarali yumshatish uchun ikki tomonlama plazma dush funksiyasi bilan jihozlangan. Ushbu vosita 4 dyuymli va 6 dyuymli gofretlar uchun aralash-yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish, SOI materialni ko'tarish-o'chirish, materialni o'zgartirish va tegishli ilmiy-tadqiqot va tajriba-ishlab chiqarish talablariga javob beradi.
Afzalliklar
1. Ikki-tomonlama plazmali dush tizimi: elektrostatik zaryadlanish shikastlanishini samarali tarzda bostiradi, elektrostatik-sezgir izolyatsion substratlarni implantatsiya qilish uchun juda mos keladi.
2. Yuqori-energiya va yuqori-dozali partiya implantatsiyasi: qatlamni uzatish va boʻlish jarayonlarini-yaxshilab, yuqori maksimal energiya va katta dozalash qobiliyati bilan paketli gofretni qayta ishlashni qoʻllab-quvvatlaydi.
3. H/He dominant implantatsiyasi uchun optimallashtirilgan: Beam{1}}liniya tizimi vodorod va geliy ionlari uchun sozlangan; turli xil jarayonlar talablari uchun B, Ar va boshqa yordamchi implant turlari bilan ham mos keladi.
4. Boshqariladigan jarayon harorati: maxsus materiallarning termal cheklovlarini qondirish uchun RT-200 daraja ichida barqaror gofret harorati nazorati.
Barqaror nurlanish barqarorligi: Ishonchli ion manbai va nurni tashish dizayni materialni tadqiq qilish va tajriba{1}}hajm ishlab chiqarish uchun-uzoq barqarorlikni kafolatlaydi.
Ilovalar
SOI va shunga o'xshash smart -kesish texnologiyalari uchun materialni ko'tarish-o'chirish / qatlamni ajratish
Izolyatsiya qiluvchi va elektrostatik{0}}sezgir materiallar uchun implantatsiya
Murakkab{0}}yarimo'tkazgich materialini o'zgartirish
Ilmiy tadqiqotlar, yangi{0}}materiallar ishlab chiqish va tajriba ishlab chiqarish
Parametrlar
|
Element |
Spetsifikatsiya |
|
Gofret hajmi |
6 dyuym, 4 dyuym |
|
Energiya diapazoni (Bir martalik-zaryad) |
30-400 keV |
|
Implant turlari |
H, U, B, Ar |
|
Gofret harorati |
RT-200 daraja |
TSS
Savol: Umumiy maqsadli implantatorlar bilan solishtirganda HII 100 ning asosiy xususiyati nimada?
Javob: Uning asosiy jihati ikki tomonlama plazma dush funksiyasi bo‘lib, u izolyatsiya va zaryadga sezgir gofretlarning elektrostatik shikastlanish xavfini hal qiladi. Materialni bo'lish jarayonlari uchun yuqori dozali H/He partiyasini implantatsiya qilish uchun optimallashtirilgan.
Savol: HII 100 asosan qanday tipik jarayonlar uchun ishlatiladi?
Javob: H / He induktsiyali qatlamni ajratish (Smart Cut), izolyatsion materialni ion implantatsiyasi va aralash yarimo'tkazgichlarning moddiy modifikatsiyasi uchun keng qo'llaniladi. U ham laboratoriya miqyosidagi tadqiqotlarga, ham kichik partiyali pilot ishlab chiqarishga mos keladi.
Savol: HII 100 qaysi gofret o'lchamlarini bajara oladi?
Javob: 4 dyuym va 6 dyuymli gofretlar uchun standart yordam. Maxsus namuna egalari so'rov bo'yicha maxsus kichik qismlar uchun ko'rib chiqilishi mumkin.
Savol: HII 100 H va He dan boshqa implant ionlari mumkinmi?
Javob: Ha. H va Hedan tashqari, yordamchi implantatsiya jarayonlari uchun B va Ar ni qo'llab-quvvatlaydi.
Savol: Implantatsiya paytida ish harorati oralig'i qanday?
Javob: Gofretni ishlov berish harorati xona haroratidan 200 darajagacha, termal sezgir substrat talablariga mos keladi.
Savol: HII 100 boshqa SEMICORE ZKX implantatorlari bilan birgalikda ishlashi mumkinmi?
Javob: Ha. U SiC maxsus implantatorlari, ko'p funktsional moslashtirilgan implantatorlar va ishlab chiqarish darajasidagi CIP/CIC/CIE seriyali platformalar bilan hamkorlik qilishi mumkin. U ommaviy ishlab chiqarish sinovlaridan oldin maxsus materiallar retseptlarini oldindan o'rganishni yakunlashi mumkin.
Savol: Sotishdan keyingi qanday xizmatlar mavjud?
Javob: Biz ehtiyot qismlarni yetkazib berish, saytni o'rnatish va ishga tushirish, muntazam texnik xizmat ko'rsatish va maxsus jarayon retseptini tuzatish uchun texnik yordamni taqdim etamiz.
Issiq teglar: h/he ion implantator, Xitoy h/he ion implantator ishlab chiqaruvchilari, yetkazib beruvchilari
