Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda yangi balandlikni kuchaytirish! Nice Tech ikki-Seriyali LPCVD uskunalarini, muvozanatlashning aniqligi va samaradorligini ishga tushirdi
Agar siz yarimo‘tkazgich qurilmalaridagi yutuqlarni kuzatayotgan bo‘lsangiz, LPCVD vositalari{0}}ayniqsa, ilmiy-tadqiqot va ommaviy ishlab chiqarish bilan shug‘ullanuvchi jamoalar uchun qanchalik ishonchli ekanligini bilib olasiz. Shuning uchun Nice Tech kompaniyasining -hozirda taqdim etilgan Gorizontal va Vertical LPCVD seriyasi-o‘yinni o‘zgartiruvchidek tuyuladi. Bu shunchaki "mashinalarning boshqa to'plami" emas; ular muhandislardan eshitgan haqiqiy og'riqli nuqtalarni tuzatish uchun qurilgan: dog'li plyonkaning bir xilligi, qattiq gofret o'lchami chegaralari va jarayonlar o'rtasida almashish qiyinligi.
LPCVD bilan yangi tanish bo'lganlar uchun: bu gofretlarni qoplash uchun gaz birikmalarini past bosim ostida qizdirish orqali{0}}kremniy nitridi, oksidi, polikristal kremniy- asosiy yarimo'tkazgich plyonkalarini yaratishning asosidir. Nice Tech bu texnologiyani yillar davomida o‘zgartirib kelmoqda va bu ikki model yordamida ular turli jamoalar uchun zarur bo‘lgan narsalarni nolga tenglashtirdilar.
Avval Gorizontal LPCVD ni oling. U bir necha shlyapa kiygan odamlar uchun moʻljallangan, masalan, bir haftada yangi jarayonlarni sinovdan oʻtkazayotgan ilmiy-tadqiqot guruhlari-va keyingi haftada kichik{2}}partiyali ishlab chiqarishni kuchaytiradi. U shov-shuvsiz oksidlanish, diffuziya va tavlanish o'rtasida o'tadi, bu alohida asboblarni jonglyor qilish bilan solishtirganda juda ko'p vaqtni tejaydi. Biz laboratoriyalar uskunalarni qayta sozlash uchun vaqtni behuda sarflaganini ko'rdik; bu buni kesib tashlaydi. U 8{9}}dyuym va undan kichikroq gofretlarga ishlov beradi va plyonkaning bir xilligi? Doimiy ravishda ±2% ostida. Bundan tashqari, uning qurilishi haftalar davomida to'xtab qolmasdan, qiyin ishlaydi, bu sizning loyiha vaqt jadvalida bo'lganingizda muhim ahamiyatga ega.
Gorizontal LPCVD
Keyinchalik katta ligalar uchun qurilgan Vertical LPCVD bor: 6-12 dyuymli gofretlarni ommaviy ishlab chiqarish. Agar sizning liniyangiz avtomatlashtirish bilan bog‘liq bo‘lsa (haqiqiy bo‘lsak, eng zamonaviy qurilmalar ham shunday bo‘lsa), bu to‘g‘ri keladi. Ishni sekinlashtiradigan qo‘lda sozlashlar qolmaydi-u aqlli ishlab chiqarish liniyalari bilan muammosiz sinxronlanadi. U SiC yupqa{6}}plyonkasini ham qo'shadi, bu keng diapazonli yarimo'tkazgichlarda-yuqori{7}}temperaturali quvvatli qurilmalar uchun juda katta. Bu erda bir xillik ± 3% ni tashkil etadi, bu keng ko'lamli yugurishlar uchun etarli va sifatni yo'qotmasdan qat'iy ishlab chiqarish maqsadlariga erishadi.
Vertikal LPCVD
Ikkalasi ham ba'zi aqlli asoslarni o'rtoqlashadi: ±0,5 daraja ichida qoladigan haroratni nazorat qilish (barqaror plyonkalar uchun juda muhim) va ko'pgina asosiy nozik plyonkalar uchun ishlaydigan 500{3}}800 daraja diapazon. Va agar sizga standart uchta filmdan tashqari biror narsa kerak bo'lsa? Nice Tech jamoasi maxsus yechimni ishlab chiqadi - biz ularning muhandislari bilan gaplashdik va ular muayyan ehtiyojlar uchun jarayonlarni sozlashda juda moslashuvchan.
Mana biz eng yaxshi ko'radigan narsa: ular sizni "Ar-ge vositasi" va "ishlab chiqarish vositasi" o'rtasida tanlov qilishga majburlamaydi. Horizontal lityum niobat yoki kvant chipli plyonkalarni sinovdan o'tkazadigan laboratoriyalar uchun juda mos keladi; Vertikal IC uchun 12-dyuymli gofretlarni ishlab chiqaradigan zavodlarda porlaydi. Va texnik xizmat? Har 6-12 oyda, shunchaki bo'shliqni tozalash va templarni kalibrlash - Nice Tech hatto unutmaslik uchun eslatmalar ham yuboradi.
Nice Tech kompaniyasining yetakchi muhandisi buni sodda qilib aytdi: “Biz shunchaki mashinalar yaratmadik{0}}biz sizning mehnatingiz bilan o‘sib chiqadigan narsani yaratdik. Bu erdagi kayfiyat. Bu vositalar katakchalarni belgilash haqida emas; ular yangi jarayonni tasdiqlash yoki ishlab chiqarishni kengaytirish bo'ladimi, jamoalarga o'z maqsadlariga erishishni osonlashtirish haqida.
Hozirda{0}}oldindan buyurtmalar ochiq. Agar siz faqat bitta ishni bajaradigan yoki ishlashni davom ettirish uchun PhD talab qiladigan vositalardan charchagan bo'lsangiz, ularning jamoasi bilan bog'lanishga arziydi. Bizning fikrimizcha, bu ham laboratoriya, ham zavod qavati uchun-plenka qo'yishdan- bosh og'rig'ini engillashtiradigan vosita bo'lishi mumkin.
