Silikon gofret kabi substratning sirtini yuqori fotosensitiv fotorezist bilan qoplagan holda, so'ngra maqsad naqsh ma'lumotlarini o'z ichiga olgan niqob orqali substrat yuzasini o'ziga xos yorug'lik (odatda ultrabinafsha nur, chuqur ultrabinafsha nur, ekstremal ultrabinafsha nur) bilan nurlantirsa, yorug'lik bilan nurlangan fotorezist reaksiyaga kirishadi. Shuning uchun, rivojlanishdan keyin nurlangan maydon nurlanmagan hududdan turli xil effektlarni keltirib chiqaradi (fotorezistning xususiyatlariga qarab).
