Mahsulotga umumiy nuqtai
Vertical Gofret quritgich -bu aniqlik asosida ishlab chiqilgan boʻlib, ushbu sohalarning qatʼiy talablari uchun maxsus ishlab chiqilgan.
Buni nima amaliy qiladi? Yangi boshlanuvchilar uchun ikkita mustaqil kamera-mavjud boʻlib, siz bir vaqtning oʻzida turli jarayonlarni oʻzaro ifloslanishsiz-uza olasiz, bu esa band ishlab chiqarish liniyalarida vaqtni-tejaydi. Keyin rivojlangan boshqaruv tizimi mavjud; u shunchaki narsalarni "nazorat qilish" bilan cheklanib qolmaydi, balki-toshning mustahkamligini saqlash uchun{5}}har bir parametrni yaxshi sozlaydi. Eng yaxshi tomoni shundaki, tozalash va quritish bir qurilmada birlashtiriladi-gofretlarni mashinalar o‘rtasida siljitishning hojati yo‘q, ishlov berish va shikastlanish xavfini kamaytiradi.
Oxir oqibat, ishlab chiqaruvchilar ishonchlilik va tozalik-va bu quritgich ikkalasini ham taqdim etadi. Bu nafaqat sanoat standartlariga javob beradigan, balki haqiqiy ishlab chiqarish guruhlari qanday ishlashiga mos keladigan uskunadir.
Ilovalar
Vertikal gofret quritgichi SPM kislotali tozalash va organik tozalashdan keyin quritish ishlarini bajarish uchun moʻljallangan{0}}ikki bosqichda qoldiq nazorati muhim ahamiyatga ega. Bundan tashqari, u fotolitografiyani ishlab chiqish, fotorezistni olib tashlash, ITO/BOE qirqish va spin qoplamasi uchun keyingi quritish ehtiyojlarini ham qoʻllab-quvvatlaydi. Bu erda eng katta afzallik uning mustahkamligidir: u qoldiq ifloslantiruvchi moddalar yoki zarrachalar bilan bog'liq muammolarning yo'qligini ta'minlaydi, partiyadan keyin jarayon sifatini barqaror ushlab turadi.
Ushbu Vertical Gofret quritgich ham yuqori{0}}qo'shimcha stsenariylarda porlaydi. Mikro datchiklar va chipletlarning gofret-darajasida qadoqlanishi uchun parchalanish tezligi 1/10000-ko'rsatkichdan past bo'ladi, bu esa ishlab chiqaruvchilar uchun to'g'ridan-to'g'ri xarajatlarni tejashga olib keladi. Bundan tashqari, u -galliy arsenid va sapfir kabi haroratga sezgir{10}}maxsus gofretlarni qayta ishlash uchun juda mos keladi. Bu materiallar nozik, lekin quritgich juda toza va kam{12}}talablarga javob beradi, shuning uchun jarayon bilan bog‘liq nuqsonlar haqida tashvishlanishga hojat yo‘q.
Afzalliklar
Mayrinth azotli muhrlanish, bo'shliq va bo'shliq izolyatsiyasi, jarayonning atrof-muhit talablarini ta'minlash uchun kontaktni yopish ta'siri yo'q.
Shokni onlayn aniqlash
Elektrostatik yo'q qilish funktsiyasi, mahsulot yuqori tezlikda statik elektr ishlab chiqaradi, mahsulot yuzasini neytrallash holatiga keltirish uchun yuqori kuchlanishli elektrostatik o'chirish moslamasidan foydalanish
Mexanik oʻz-oʻzidan{0}}qayta tiklash funksiyasi, kutish chip qutisini yuqoriga qaratib toʻxtating
Parametrlar
|
Turkum |
Element |
Spetsifikatsiya tafsilotlari |
|
Asosiy ma'lumotlar |
Mahsulot nomi |
Vertikal ikki kamerali quritgich |
|
Model raqami |
Yarim toza-QX-61-2M-A |
|
|
Hajmi (Ma'lumotnoma) |
L×D×H=Yuzaki kengligi 490mm × Chuqurlik 937mm × Balandligi 1880mm |
|
|
Og'irligi (taxminan) |
260 kg |
|
|
Jarayon bo'shlig'i va kasseta |
Jarayon bo'shlig'i |
Ikki bo'shliq (yuqori va pastki), mustaqil ravishda boshqariladi; 6 dyuymli moslashtirilgan tashuvchi rotorni joylashtirishi mumkin |
|
Ishlatilgan kasseta turi |
KM-40N (100 mm), A182-60MB (150 mm) |
|
|
Tozalash va quritish qismlari xususiyatlari |
2 dona 4 dyuymli maxsus rotorlar bilan jihozlangan; mijoz tomonidan taqdim etilgan kassetalar, rotor qismlari yakuniy dizayn namunalaridir |
|
|
Operatsion parametrlar |
Jarayon vaqtini sozlash |
1s - 900s; parvarishlash aniqligi ±5% dan kam yoki teng |
|
Ishlash tezligi |
100-2500 rpm / min (mahsulot xususiyatlari va jarayoni bo'yicha sozlanishi); tezlik xatosi < ±2% |
|
|
Kamerani quritish harorati diapazoni |
Minimal: 45 darajadan katta yoki unga teng; Maksimal: 85 darajadan kam yoki unga teng |
|
|
Quruq tozalash talabi |
Zarrachalar 0,3 mkm dan katta yoki unga teng <30 don/gofret |
|
|
Uskuna UPTIME |
95% dan katta yoki teng; oʻrtacha oylik muammo-bepul ish vaqti 648H dan katta yoki unga teng |
|
|
Operatsiyaning parchalanish darajasi |
1/10000 dan kam yoki unga teng |
|
|
Ommaviy axborot vositalariga qo'yiladigan talablar |
Deionlashtirilgan suv |
Bosim diapazoni: 0,2 ~ 0,4Mpa; maksimal oqim: 0,7 m³ / soat |
|
Azot |
Bosim diapazoni: 0,5 ~ 0,6Mpa; maksimal iste'mol: 18-20m³ / soat; isitish va yopish uchun ishlatiladi |
|
|
Funktsiyalar va himoya |
Spray tozalash |
Buzadigan amallar bilan tozalash moslamasi va boʻshliqni oʻz-oʻzini tozalash-protsessi bilan jihozlangan |
|
Ish paytida muhrlash |
Kamera eshigi va motor mili azot bilan muhrlangan |
|
|
Oqishni aniqlash |
O'rnatilgan{0}}oqish sensori; qochqinning oldini olish uchun oqish signalini ishga tushiradi |
|
|
Jarayonni himoya qilish |
Jarayon tugagandan so'ng, mahsulotlarni chiqarish uchun eshik ochilmasa, ikkinchi darajali ishlashdan qochib, interfeysni ishlatib bo'lmaydi |
|
|
Boshqarish tizimi |
Asosiy nazorat |
PLC dasturlashtiriladigan boshqaruv; 10 ta jarayon bo'limini saqlaydi (har bir bo'limda 10 bosqich); foydalanuvchilar kerak boʻlganda har bir pastki funksiyani yoqish/oʻchirish- mumkin |
|
Ruxsat nazorati |
2 turdagi operatsiya ruxsatini boshqarish, har biri ruxsat paroli bilan sozlangan |
|
|
Displey funktsiyasi |
Ekranda har bir jarayon haqida ma'lumot ko'rsatiladi |
|
|
Boshqarish rejimi va interfeys |
Har bir xonani mustaqil ravishda boshqarish mumkin; Operatsion interfeysi: LCD sensorli ekran |
TSS
Vertikal gofret quritgich qaysi sohalar uchun ishlab chiqarilgan?
U asosan yarimoʻtkazgichlar va mikroelektronika sektorlari-oʻylagan stsenariylar uchun moʻljallangan, bu yerda yuqori{1}}tozalikdagi gofretni quritish-boʻlmagan. Uning dizaynining har bir qismi ushbu sohalarning o'ziga xos ehtiyojlariga tayanadi.
U qanday asosiy jarayonlarni boshqarishi mumkin?
U gofretni qayta ishlashning bir qator asosiy bosqichlarini qamrab oladi. Xususan, u SPM kislotasi bilan tozalash, organik erituvchi bilan tozalash, fotolitografiya ishlab chiqish, fotorezistni olib tashlash, ITO/BOE bilan ishlov berish va spiral qoplama-to‘liq quritish muhim bo‘lgan barcha muhim nuqtalardan keyin{1}}quritishdan keyingi ishlarni bajaradi.
Uning ikki-bo'shliqli dizaynidan qanday foyda bor?
Yuqori va pastki bo'shliqlar mustaqil ishlaydi-har birini alohida boshqarishingiz mumkin. Bu shuni anglatadiki, gofretlarni bir vaqtning o'zida ikkalasida ham qayta ishlashingiz mumkin, bu esa ishlab chiqarish samaradorligini oshiradi. Bundan tashqari, agar turli jarayonlar turli xil parametrlarga muhtoj bo'lsa, har bir bo'shliq o'z sozlamalarini mukammal tarzda boshqarishi mumkin.
Quritgandan keyin tozalik standarti qanday?
Bu juda qattiq va yaxshi sabablarga ko'ra. Quritgandan so'ng, har bir gofretda 0,3 mikron yoki undan kattaroq bo'lgan 30 dan kam zarrachalar mavjud. Bu yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishning yuqori-tozalik talablariga mos keladi.
Ishlash osonmi?
Mutlaqo. U LCD sensorli ekran va PLC dasturlashtiriladigan boshqaruv-super intuitiv bilan birga keladi. Siz 10 tagacha jarayon bo'limini saqlashingiz mumkin va har bir bo'lim 10 bosqichga ega bo'lishi mumkin. Xavfsizlik uchun ikki-ruxsat parolini boshqarish ham mavjud. Hatto yangi operatorlar ham asosiy ma'lumotlarni tezda olishadi.
Uskuna qanchalik ishonchli?
Uning operatsion barqarorligi katta savdo nuqtasidir. Uskunaning UPTIME kamida 95% ni tashkil qiladi va u har oy oʻrtacha 648 soat yoki undan koʻproq muammosiz ishlaydi. Yaxshisi, ish paytida gofretning parchalanish darajasi 1/10000 dan oshmaydi{6}, shuning uchun siz uskunadagi nosozliklardan ko'p narsani yo'qotmaysiz.
U qanday ommaviy axborot vositalarini ishga tushirishi kerak?
Faqat ikkita tur: deionizatsiyalangan suv va azot. Deionizatsiyalangan suv 0,2 - 0,4 Mpa gacha bo'lgan bosimga muhtoj, maksimal oqim 0,7 m³ / soat. Azot 0,5-0,6Mpa bosim talab qiladi va ko'pi bilan 18-20m³/soat sarflaydi. Ular mos ravishda tozalash, isitish va muhrlash uchun ishlatiladi - har biri ishni to'g'ri bajarishda muhim rol o'ynaydi.
Issiq teglar: vertikal gofret quritgich, Xitoy vertikal gofret quritgich ishlab chiqaruvchilari, etkazib beruvchilari
